シート抵抗・体積抵抗率
体積抵抗率・膜厚からシート抵抗を即算出。
シート抵抗・体積抵抗率ツール
シート抵抗
Rs = ρ / t (Ω/□ = Ω per square)
Cu 1.7μΩcm・厚1μmでRs=0.017Ω/□。半導体拡散層は数十-数千Ω/□。四端子法で測定、正方形単位で無次元の抵抗指標です。
材料別 抵抗率
| 材料 | ρ |
|---|---|
| 銅 | 1.7μΩcm |
| 金 | 2.2 |
| アルミ | 2.6 |
| ポリシリコン | 1000-10000 |
シート抵抗・体積抵抗率の詳しい解説
シート抵抗は「半導体プロセス+PCB配線設計の基本指標」。同じ材料でも膜厚で抵抗変化、微細化ほど抵抗増で高速動作の敵。銅配線+ダマシン工法で低抵抗化が半導体進化史です。
業界・現場での使い方
半導体プロセス
拡散層設計。
PCB
配線抵抗計算。
液晶
透明電極(ITO)測定。
よくある間違い・注意点
- 体積抵抗率のみ — 面積依存で誤解。
- 温度補正忘れ — 25℃基準、金属は正温度係数。
関連する規格・法規
- JIS K 7194 シート抵抗
- ASTM F 76
※本ツールは公的基準に基づく参考計算です。実際の設計・施工・法令適用は最新の告示・規格および所轄官庁の判断に従ってください。
よくある質問（FAQ）
Cu 1μm厚のシート抵抗は?
約0.017Ω/□。