計算ツールズ
クリーンルームISO 14644半導体製薬

クリーンルーム パーティクル数

ISOクラス・容積から許容粒数・換気回数を即算出。

最終更新：2026-05-06／監修：計算ツールズ編集部

クリーンルーム パーティクル数ツール

ISOクリーンクラス

ISO 5=旧Class100(HEPA天井+ULPA)、ISO 7=Class10000(換気70回/h)。半導体はISO 4-6、製薬ISO 7-8、精密加工ISO 8が定番。

ISOクラス

クラス0.5μm/m³
ISO 53,520
ISO 635,200
ISO 7352,000
ISO 83.5M

クリーンルーム パーティクル数の詳しい解説

クリーンルームは「半導体・製薬・精密機器の生産基盤」。ISO 5でHEPA天井+ULPA・層流方式、投資額㎡100万円超も。維持コストも大、生産物価値との整合が重要です。

業界・現場での使い方

半導体工場

ウェハ処理環境。

製薬工場

注射剤・無菌製造。

精密機械

ベアリング・レンズ組立。

よくある間違い・注意点

  • 人・作業服対策不足 — 1人1000万個/分発塵。
  • 陽圧維持忘れ — 汚染空気逆流。

関連する規格・法規

  • ISO 14644 クリーンルーム
  • JIS B 9920

※本ツールは公的基準に基づく参考計算です。実際の設計・施工・法令適用は最新の告示・規格および所轄官庁の判断に従ってください。

よくある質問（FAQ）

ISO 7の許容粒数は?

352,000個/m³。